[18p-PA5-1~22] 6.4 Thin films and New materials

△ [18p-PA5-22] Characterization of atomic- and nano-scale patterned conductive polymer substrate

〇Atsushi Oshima¹, Tomoaki Oga¹, Naho Kaneko¹, Satoru Kaneko^2,1, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Tech. Materials, 2.KISTEC)

Keywords:thermal nanoimprint, conductive polymer

軽量，フレキシビリティ，大面積などの特徴を持つ導電性ポリマー材料は，デバイス基板などとしてエレクトロニクスにおいて重要性を増している。本研究では，導電性ポリマー基板上に酸化物などの機能性薄膜を成長させたデバイス作製を目的として，熱ナノインプリント法を用いた導電性ポリマー表面への原子・ナノスケールパターン転写と酸化物堆積に与える影響について検討した。