[19a-B12-1~11] 12.3 Functional Materials and Novel Devices

△ [19a-B12-11] Area Selective Growth of MOF Thin Film Patterns in Micro-sized Via Holes Promoted by Surface Covering of Cu Powders

〇(M2)Atsushi Shimizu^1,2, Kentaro Kinoshita¹, Yusuke Nakaune¹, Hisashi Shima², Makoto Takahashi², Naitoh Yasuhisa², Hiro Akinaga² (1.Tokyo Univ. of Sci., 2.NeRI AIST)

Keywords:MOF, HKUST-1

金属有機構造体(MOF)は，ナノ細孔が規則正しく高密度に配列された構造を持つ．この構造は電子デバイスでの利用が期待されているが，MOF合成手法の多くは，絶縁シード層や分厚い金属膜を必要としており，電気伝導や微細化の観点から好ましくない．本研究では，電気伝導と微細化に適したMOFの合成手法を提案する．この手法は，1 um²の金属膜に直接MOFを合成することを可能にし，成長位置の高選択性及び高歩留まり成長が実証された。