[19a-C310-1~12] 6.6 Probe Microscopy

[19a-C310-2] Fabrication and evaluation of a metal tip for quartz tuning fork force sensors used in nc-AFM/STM

〇Toyoko Arai¹, Kohei Oida¹, Tengo Maruyama¹, Tomitori Masahiko² (1.Kanazawa Univ., 2.JAIST)

Keywords:nc-AFM/STM, tungsten tip

nc-AFM/STM用音叉型水晶振動子力センサーのためのタングステン探針の作製法を検討する。タングステン探針の先鋭化法として、水素酸素ガス炎でのエッチングを行った。バーナー口からの距離、時間、燃焼ガス種などを変えてW探針を作製し、W探針の形状および、残存する炭素と酸素の量をオージェ電子分光顕微鏡で調べた。また、得られたW探針を用いて、共振再調整力センサーを作製し、nc-AFM/STM像取得により評価した。