2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[19a-E312-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

2019年9月19日(木) 09:30 〜 12:00 E312 (E312)

青野 祐美(鹿児島大)、斎藤 秀俊(長岡技大)

09:30 〜 09:45

[19a-E312-1] 水素化アモルファス炭素膜の構造と電気伝導特性の関係

〇(M2)冨所 優志1、Tunmee Sarayut2、Nakajima Hideki2、Rittihong Ukit2、Supruangnet Ratchadaporn2、平田 祐樹1、大竹 尚登1、赤坂 大樹1 (1.東工大工、2.泰シンクロトロン光研)

キーワード:アモルファス炭素膜、活性化エネルギー