[19a-E312-1~9] 6.2 Carbon-based thin films

[19a-E312-3] Photoinduced Deformation of Amorphous Carbon Thin Films

〇Masami Aono¹, Kenta Suzuki², Nobuaki Kitazawa², Yohei Sato³, Masami Terauchi³ (1.Kagoshima Univ., 2.NDA, 3.IMRAM Tohoku Univ.)

Keywords:Amorphous, Carbon, Thin film

これまで、アモルファス窒化炭素（a-CN_x）薄膜で見つかっていた、可視光が照射されると膜形状が変化する光誘起変形と同様の現象が、窒素を全く含まないアモルファス炭素（a-C）薄膜においても発見された。a-C薄膜の光熱変換はa-CN_x薄膜より大きいが、光誘起変形量は1/5程度である。発熱量と変形量は比例関係にないことから、a-CN_x薄膜同様、光が直接変形を起こしている可能性がある。