[19a-PB1-1~11] 9.1 Dielectrics, ferroelectrics

[19a-PB1-1] Piezoelect properties Evaluation of Mg,Nb Codoped AlN by first-principles calculation

〇Yuto Mori¹, Kenji Hirata², Sri Ayu Anggraini², Morito Akiyama², Masato Uehara^1,2, Hiroshi Yamada^1,2 (1.Kyushu Univ., 2.AIST)

Keywords:Piezoelectric material, Nitride, First-principles calculation

本研究では、Mg+Nb共添加AlNにおける圧電性向上機構の解明を目的とし、第一原理計算を用いて、Mg_xNb_yAl_1-x-yN (x/y = 1, 1.67, 2)における各物性値を調査した。これらの結果から、MgとNbの理想比Mg/Nb=2ではなくMg/Nb=1.67で圧電性が最大になること確認された。さらにMg/Nb比を変えたことによる圧電性向上は圧電応力定数e₃₃が大きく寄与することが示唆された。