[19a-PB1-1~11] 9.1 誘電材料・誘電体

[19a-PB1-7] マイクロ波誘電体への応用に向けたアモルファスTiO₂-ZrO₂固溶体のゾル－ゲル法による作製

〇(M1C)趙 良宵¹、上野 慎太郎¹、藤井 一郎¹、和田 智志¹ (1.山梨大学)

キーワード：アモルファス TiO2-ZrO2固溶体、ゾル－ゲル法、マイクロ波誘電体

5Gに代表される高速情報通信には基地局を大量に設置する必要がある。それにより基地局の小型化が求められている。品質係数と共振周波数の積Qｆと比誘電率双方が向上することで実現することが可能になるが、現状ではマイクロ波誘電体には結晶体が用いられており、Qｆと比誘電率はトレードオフの関係にある。本研究ではアモルファス体TiO₂-ZrO₂固溶体に着目し、その作製を行い、誘電特性を評価した。