[19a-PB3-1~25] 13.8 光物性・発光デバイス

[19a-PB3-9] 非晶質・ナノ結晶SiC含有シリコン酸化膜の光学特性のSi，C添加量及び熱処理温度依存性

〇(M2)成松 伶¹、勝俣 裕¹ (1.明大理工)

キーワード：ナノ結晶、炭化珪素、フォトルミネセンス