The 80th JSAP Autumn Meeting 2019

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Symposium (Oral)

Symposium (technical) » The present and future of crystalline Si solar cells

[19p-B12-1~10] The present and future of crystalline Si solar cells

Thu. Sep 19, 2019 1:15 PM - 6:30 PM B12 (B12)

Yasushi Sobajima(Gifu Univ.), Shinsuke Miyajima(Tokyo Tech)

4:00 PM - 4:30 PM

[19p-B12-6] Development of process technologies for high-efficiency crystalline silicon solar cells

Keisuke Ohdaira1, Cong Thanh Nguyen1, Huynh Thi Cam Tu1, Hideki Matsumura1 (1.JAIST)

Keywords:solar cell, crystalline silicon

本講演では、ヘテロ接合バックコンタクト型(HBC)太陽電池の各製造工程への適用を目指した、北陸先端大での基盤技術開発に関し、(1)ガラス粒子を混入したアルカリ溶液を用いたテクスチャ形成とメタノール添加により濡れ性を制御したHF溶液による表面洗浄技術、(2)非質量分離型プラズマイオン注入によるドープ非晶質Si(a-Si)形成、(3)触媒化学気相堆積(Cat-CVD)で形成した薄膜による結晶Si表面のパッシベーション、の3つのテーマの研究成果について概説する。