[19p-B12-1~10] The present and future of crystalline Si solar cells

[19p-B12-6] Development of process technologies for high-efficiency crystalline silicon solar cells

〇Keisuke Ohdaira¹, Cong Thanh Nguyen¹, Huynh Thi Cam Tu¹, Hideki Matsumura¹ (1.JAIST)

Keywords:solar cell, crystalline silicon

本講演では、ヘテロ接合バックコンタクト型(HBC)太陽電池の各製造工程への適用を目指した、北陸先端大での基盤技術開発に関し、(1)ガラス粒子を混入したアルカリ溶液を用いたテクスチャ形成とメタノール添加により濡れ性を制御したHF溶液による表面洗浄技術、(2)非質量分離型プラズマイオン注入によるドープ非晶質Si(a-Si)形成、(3)触媒化学気相堆積(Cat-CVD)で形成した薄膜による結晶Si表面のパッシベーション、の3つのテーマの研究成果について概説する。