[19p-C309-1~16] 13.6 Nanostructures, quantum phenomena, and nano quantum devices

[19p-C309-16] Fabrication of Si roll included nanoparticles

〇(M1C)He Wang¹, Zhongqiu Lin¹, Naoki Aoyama¹, Toshiaki Suzuki¹, Masaaki Niwa¹, Mitsuya Motohashi¹ (1.Tokyo Denki Univ)

Keywords:Si roll, nanoparticle, anodization

我々が従来から開発した、Siマイクロ・ナノロール構造体は、その形状から量子特性を有するナノ粒子の捕獲及び定着化、生体内での液体物質のための輸送管など、従来にない機能を有する構造体として期待できる。今回は、このSiロールを形成するウェーハ上の位置の特定と同時に粒子の閉じ込め方法について検討した。その結果、Siウェーハ上の特定の位置にナノ粒子を閉じ込めたSiロールを作製することに成功した。