[19p-E202-1~10] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

[19p-E202-3] Substrate structure optimization for high spatial resolution ion imaging with electron beam excitation

〇Kiyohisa Nii¹, Wataru Inami², Yoshimasa Kawata^1,2 (1.Shizuoka Univ., 2.RIE Shizuoka Univ.)

Keywords:semiconductor, bio-sensor, ion-imaging

我々は電子線励起による，高空間分解能イオンイメージングシステムを開発してきた．本システムの特徴は細胞の局所的なイオン分布や，イオンの授受を高い空間分解能で観察できることである．本システムではイオンイメージングに半導体センサ基板と収束電子線を用いる．収束電子線を用いることで，高い空間分解能を実現する．今回は，ウインドウ構造の基板を作製した結果について報告する．