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[19p-E207-3] 有限要素法によるフォトニック結晶ナノ共振器の多数の穴の自動最適化
キーワード:フォトニック結晶、ナノ共振器、バイオセンサ
有限要素法電磁界解析による光ナノ共振器シミュレーションをベースにナノ共振器の多数のフォトニック結晶穴の位置を自動的に最適化するプログラムを開発した。H1スロットナノ共振器を対象に、最大22組の穴シフト量を最適化して理論Q値の非常に高い共振器が自動的に生成された。生成された共振器が実験でも非常に高いQ値を示すことを確認した。