[19p-E304-1~13] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[19p-E304-7] Operational amplifier Circit Fabricated by Minimal Fab

〇Masashi Kase¹, Kazuhiro Koga², Shuhei Nakamichi², Akinori Ihara², Sommawan Khumpuang^1,2, Shiro Hara^1,2 (1.AIST, 2.MINIMAL)

Keywords:minimal, device, op amp

我々は超小型デバイス製造システム・ミニマルファブの開発を行っている。これまで、n型のバルクSi基板とAlゲート電極を用いたCMOSを試作し良好な特性を得ている。このCMOSプロセスは非常に汎用性が高いプロセスであるように設計してある。そこで、今回、実際に本CMOSプロセスを用いたOPアンプの試作を行った。プロセス完成後のオペアンプ回路を測定し、反転増幅の動作確認ができた。