[19p-E314-1~11] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

△ [19p-E314-9] ドレスト光子フォノンアニールによって作製したSiダイオードの可視発光

〇(B)小田 大仁¹、川添 忠¹、田所 貴志¹ (1.電機大)

キーワード：ドレスト光子、発光ダイオード、シリコン

高効率の発光ダイオードには電子-正孔放射再結合の確率が高い直接遷移型半導体が使用されている。我々は間接遷移半導体であるSiを用い、DPP（ドレスト光子フォノン）アニールによって効率の高い赤外発光素子の作製、また、その可視発光の確認も行っている。今回、より効率の高い可視発光素子実現のためPN接合面が発光面に対し垂直になる構造をもつ素子を作製し、その可視発光を確認したので報告する。