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△ [19p-E314-9] ドレスト光子フォノンアニールによって作製したSiダイオードの可視発光
キーワード:ドレスト光子、発光ダイオード、シリコン
高効率の発光ダイオードには電子-正孔放射再結合の確率が高い直接遷移型半導体が使用されている。我々は間接遷移半導体であるSiを用い、DPP(ドレスト光子フォノン)アニールによって効率の高い赤外発光素子の作製、また、その可視発光の確認も行っている。今回、より効率の高い可視発光素子実現のためPN接合面が発光面に対し垂直になる構造をもつ素子を作製し、その可視発光を確認したので報告する。