[19p-PA2-1~9] 3.7 レーザープロセシング

[19p-PA2-7] 金属の超短パルスレーザー穴あけ加工における加工痕の広域かつ連続的なパルス幅依存性分析

〇吉富 大¹、高田 英行¹、奈良崎 愛子¹、鳥塚 健二¹、小林 洋平² (1.産総研、2.東大物性研)

キーワード：レーザー、レーザー加工、フェムト秒

熱伝導率の異なる３種の金属に対して、超短パルスレーザー穴あけ加工を行い、その加工痕体積の広域連続なパルス幅依存性を調べた。加工痕体積には極小点が存在し、熱伝導率に対する極小点のシフトを考えると、熱影響の少ない短パルス領域と熱影響の大きい長パルス領域の境界をなしていることが示唆される。