[19p-PA3-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-PA3-3] BiFeO₃系非鉛圧電薄膜を用いる振動発電素子

〇泉 宏和¹、吉村 武²、藤村 紀文²、村上 修一³、佐藤 和郎³ (1.兵庫工技セ、2.大阪府大院工、3.大阪技術研)

キーワード：BiFeO3、圧電体、エナジーハーベスティング