The 80th JSAP Autumn Meeting 2019

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6 Thin Films and Surfaces » 6.6 Probe Microscopy

[19p-PA4-1~13] 6.6 Probe Microscopy

Thu. Sep 19, 2019 1:30 PM - 3:30 PM PA4 (PA)

1:30 PM - 3:30 PM

[19p-PA4-3] Development of techniques combining APT and STM Ⅲ

〇(M2)Takumi Umemura1, Shu Kurokawa1 (1.Kyoto Univ.Eng)

Keywords:Scanning Tunneling Microscopy, Atom Probe Tomography

我々は三次元アトムプローブ(APT)測定後の試料表面を走査トンネル顕微鏡(STM)で観察する手法の開発を行っている.両者を組み合わせることで,より広範な試料のSTM観察が期待されるだけではなく,STMによるAPT試料形状の観察結果は,APTデータの解析の際に使用できる可能性がある.また,STMの新たな試料作製方法としてAPTの電界蒸発の利用についても考察する.