[19p-PA6-1~28] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[19p-PA6-1] 表面プラズモン共鳴によるAlGaN/AlN多重量子井戸の深紫外発光増強

〇島ノ江 考平¹、松山 哲也¹、和田 健司¹、三宅 秀人²、岡本 晃一¹ (1.阪府大院工、2.三重大院工)

キーワード：プラズモニクス、半導体、深紫外

深紫外LEDの発光材料として注目されているAlGaN/AlNの量子井戸は，発光効率が著しく低いのが現状である．その改善のために我々はSP共鳴を用いた．その結果，Al薄膜を用いてAlGaN/AlN量子井戸75層という非常に多層な量子井戸においても発光増強に成功した．さらにAl以外の紫外プラズモニック金属としてGaを用いても発光増強に成功した．発光増強過程など詳しい考察や議論も行っていく．