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[19p-PA6-11] Surface plasmon resonances in Sn:In2O3 thin films with diffraction grating
Keywords:surface plasmon resonance, ITO
半導体材料をベースとした表面プラズモン共鳴(SPR)材料は周期構造とキャリア密度の2つのパラメータでSPR周波数を制御することができる。そこで我々は近赤外領域においてSPRを励起させる材料として導電性酸化物材料であるSnドープIn2O3(ITO)薄膜を提案する。本実験ではITO薄膜表面上に回折格子構造を形成することによってSPR励起を試み、格子ピッチとSPR波長の相関関係を考察した。