[19p-PA6-1~28] 3.12 Nanoscale optical science and near-field optics

[19p-PA6-9] Optical Properties of Low-Loss Ag and Au Films

〇KENZO YAMAGUCHI¹, Tomohiro Mori², Yukihiro Tominari³, Akira Otomo³ (1.pLED, Tokushima Univ., 2.Ind. Tech. Ctr. of Wakayama Pref., 3.NICT)

Keywords:single-crystalline film, surface plasmon, spectroscopic ellipsometry

多結晶金属薄膜の結晶粒界を代表する内部欠陥が、薄膜の加工精度や表面プラズモンの光特性に大きく影響する。そこで、ヘテロエピタキシャル成長に注目し、塩の単結晶基板上に成膜した単結晶銀薄膜の基板を水に溶解させ、異種基板へ転写可能な成膜法を確立した。本研究では、薄膜の光学性能を明らかにするために、分光エリプソメトリーを用いた単結晶銀薄膜の光学定数を決定した。一方で、金の単結晶薄膜の成膜法を新たに確立した。