[20a-B11-1~10] 8.1 Plasma production and diagnostics

△ [20a-B11-9] Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy of Hydrogen Plasma Using a Self-Absorbing Micro-Discharge Hollow Cathode Light Source

〇Sho Shimizu¹, Keigo Takeda¹, Takayoshi Tsutsumi², Mineo Hiramatsu¹, Masaru Hori² (1.Meijo University, 2.Nagoya University)

Keywords:self-absorption, absorption spectroscopy, vacuum ultraviolet

プラズマプロセスにおいて、原子状ラジカルはプロセス反応の特徴を決定づける非常に重要な活性種の一つである。そのため、プラズマ中の原子状ラジカルの定量的計測が強く求められている。本研究では、マイクロホローカソード放電における自己吸収現象に着目し、それを利用した原子状ラジカル温度計測の可能性について調査した。