[20a-C309-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[20a-C309-1] Pt及び透明酸化物電極上でのHfO₂系薄膜の結晶化

〇(M2)福島 宏昌¹、藤沢 浩訓¹、中嶋 誠二¹、小南 真¹ (1.兵庫県立大学工)

キーワード：結晶化