[20a-C309-1~13] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [20a-C309-7] Temperature and polarity dependence of electrical properties of ZnO/LiNbO₃ stack structure

〇Yudai Yasuhara^1,2, Kazunori kurishima^1,2,3, Toyohiro Chikyow², Atsushi Ogura¹, Takahiro Nagata² (1.Meiji Univ., 2.NIMS, 3.JSPS-PD)

Keywords:ferroelectricity, pyroelectricity

極性結晶であるニオブ酸リチウム（LiNbO₃：LN）は優れた焦電性を有し、他の強誘電体に比べ表面電荷が得られやすい特性を持つ酸化物強誘電体である。さらに、極性により異なる表面電荷効果を示すことが知られている。そこで我々は、LNの分極面のパタ ーン化などで自発分極を制御することで表面電荷を制御できる特徴を利用し、酸化亜鉛(ZnO)の電気特性の制御を試み、光センサーやスイッチへの応用を検討している。ZnOはバン ドギャップが3.4 eVと広く、飽和電子速度が大きいため、高速電子デバイス、センサーへの応用研究がされている。本研究では、＋極及びー極のLN基板 ZnOを成膜した試料を用いて、LNの焦電効果や極性がZnOの電気特性に及ぼす影響について検討した。