[20a-C310-1~12] 6.4 薄膜新材料

[20a-C310-5] 水蒸気を基板表面に吹き付けてスパッタ成膜したクロム酸化物薄膜

〇王 ハン¹、阿部 良夫¹、川村 みどり¹、金 敬鎬¹、木場 隆之¹ (1.北見工大)

キーワード：クロム酸化物、高速成膜、水蒸気スパッタ

水蒸気スパッタ法が酸化クロム薄膜の高速成膜に有効であることを去年の応用物理学会で発表した。そこで、今回は反応ガスである水蒸気の吹き付け方向をターゲット側と基板側に変えた場合の影響について比較検討を行った。その結果、水蒸気を基板側に吹き付けた方が堆積速度が増加し、クロム酸化物膜の組成変化が緩やかになることが分かった。