[20a-E101-1~10] 12.3 Functional Materials and Novel Devices

[20a-E101-10] Systematic consideration for the development of the ultra-fast polyimide capacitive-type humidity sensors with CNT gas permeable top-electrodes

〇Eiji Itoh¹, Makoto Hatayama¹ (1.Shinshu Univ.)

Keywords:humidity sensor, carbon nanotubes, polyimide

容量型湿度センサは応答湿度範囲が広く、温度依存性も小さく、近年、機器への置き換えが急速に進んでいる。高速移動する車などやヘルスケア・医療応用でのリアルタイム計測では10ms～0.1sの応答が必要な中で従来のセンサの応答時間は1秒～数分と長く大きな隔たりがあった。本研究では、CNTとフッ素含有ポリイミドを組み合わせた安定で高感度かつ超高速湿度センサの10ms応答にむけた設計や概念と実証を行った。