[20a-E207-1~11] 【CS.5】 Code-sharing Session of 3.11 & 3.13

[20a-E207-1] 980nm-band Beam Scanner Integrated with Heater-driven VCSEL

〇Keisuke Shimura¹, Masashi Takanohashi¹, Zeuku Ho¹, Xiaodong Gu¹, Takahiro Sakaguchi¹, Akihiro Matsutani², Fumio Koyama¹ (1.Tokyo Tech. FIRST, 2.Tokyo Tech. Semiconductor and MEMS Processing Division.)

Keywords:VCSEL, LiDAR

本研究では一方向性結合を可能にする面発光レーザ(VCSEL)集積非機械式のビームスキャナを提案する．我々はこれまでに光源と導波路型ビームスキャナを集積化したデバイスを提案し，13度の角度掃引幅と30点以上の解像点数を実現している．一方で出力が非常に低く，解像点数もさらなる向上が必要であるなどの課題が残った．今回は光源であるVCSELの波長可変方式を従来の電流駆動からヒータ駆動にした新たなデバイスを試作し測定を行った．