[20a-E303-1~5] 13.2 Exploratory Materials, Physical Properties, Devices

[20a-E303-1] Theoretical analysis of vapor composition generated from BaSi₂ melt

〇Kosuke Hara¹, Junji Yamanaka¹, Keisuke Arimoto¹ (1.Univ. of Yamanashi)

Keywords:silicide semiconductor, thermal evaporation

BaSi₂蒸着における蒸気組成の経時変化を理論的に説明することを目指して、BaSi₂融液から発生する蒸気のフラックスを熱力学により理論的に計算した。その結果、BaSi₂が調和溶融した融液から発生する蒸気はBaが支配的であり、融液中のBaモル分率が減少するに従い、Siフラックスが増大することが明らかとなった。