[20a-E305-1~10] 2.3 Application, radiation generators, new technology

[20a-E305-8] Shape observation of glass in slurry using nano-focus X-ray source.

〇Kota Higuchi¹, Shuichi Matsunari¹, Takaaki Umemoto¹ (1.Nikon Corp.)

Keywords:X-ray, slurry, nondestructive inspection

レンズ等ガラス製品の一次研磨には水などに研磨粒子を分散させた研磨液が用いられるが、研磨中に数μm～数十μm程のガラス片が研磨液中に混入し、ガラス研磨キズの発生や研磨力の低下を招くことが報告されている。
今回弊社が開発したスポット径0.1μmが達成可能なX線源を用いて、水にガラス球を分散させたサンプルを測定することにより、数μm～数十μm程度のガラス粒子を液中で観察できることを実証した。