[20a-E306-1~12] 8.5 プラズマ現象・新応用・融合分野

[20a-E306-8] 第三リング電極を用いたエレクトロスプレー堆積法制御の問題

〇(M1)桑畑 湧太¹、竹原 宏明^1,2、一木 隆範^1,2 (1.東大工、2.ナノ医療イノベーションセンター)

キーワード：エレクトロスプレー

本研究では、従来のエレクトロスプレー堆積装置に第三リング電極を設置することで高分子薄膜製作技術の向上を図る。エレクトロスプレー現象は、シングルテイラーコーンの状態で安定性を持つが、その閾値電圧が第三リング電極によって制御できることが分かった。