[20a-E308-1~10] 12.2 評価・基礎物性

[20a-E308-10] 二次イオン質量分析による有機膜中不純物測定の深さ方向分解能向上

〇鈴木 隆¹、宮本 隆志¹、鮫島 純一郎¹ (1.東レリサーチセンター)

キーワード：二次イオン質量分析、有機膜、深さ分布

二次イオン質量分析(Secondary Ion Mass Spectrometry : SIMS)では、材料や分析元素、および一次イオンのイオン種、エネルギー入射角度によって二次イオン収率やスパッタ速度、および深さ方向分布（深さ方向分解能）が変化する。より真に近い深さ方向分布を得るために、材料に適した一次イオンのパラメータを用いる必要がある。半導体材料（無機膜等）に対しては、分析条件については詳細に調べられているが、有機膜においては、その知見が少ない。本稿では、有機膜に対してSIMSでより真に近い深さ方向分布を得るため、分析条件の最適化を行った。