[20a-E308-1~10] 12.2 Characterization and Materials Physics

[20a-E308-10] Depth direction resolution improvement of impurities analysis in organic thin film by Secondary Ion Mass Spectrometry

〇Ryu Suzuki¹, Takashi Miyamtoo¹, Junichiro Sameshima¹ (1.Toray Research Center)

Keywords:Secondary Ion Mass Spectrometry, organic thin film, Depth profile

二次イオン質量分析(Secondary Ion Mass Spectrometry : SIMS)では、材料や分析元素、および一次イオンのイオン種、エネルギー入射角度によって二次イオン収率やスパッタ速度、および深さ方向分布（深さ方向分解能）が変化する。より真に近い深さ方向分布を得るために、材料に適した一次イオンのパラメータを用いる必要がある。半導体材料（無機膜等）に対しては、分析条件については詳細に調べられているが、有機膜においては、その知見が少ない。本稿では、有機膜に対してSIMSでより真に近い深さ方向分布を得るため、分析条件の最適化を行った。