[20a-E310-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20a-E310-6] 光音響・発光同時計測によるInGaN量子井戸の内部量子効率測定

〇森 恵人¹、高橋 佑知¹、山口 敦史¹、草薙 進²、蟹谷 裕也²、工藤 喜弘²、冨谷 茂隆² (1.金沢工大、2.SONY)

キーワード：InGaN、内部量子効率、光音響

これまでに、我々は光音響(PA)・発光(PL)同時計測法により、IQEを推定する方法を提案し、GaN膜において妥当な結果を得ている。しかしながらInGaN-QW のIQE測定をする場合、PA信号が小さいため、IQE測定の再現性がないという問題があった。本研究では、PA測定のノイズの主因が光学テーブルの振動であることを明らかにし、パッシブ除振台を導入することでS / Nを1桁以上改善した。そして、様々なInGaN-QWに対して再現性のあるIQE測定を行うことができた。