[20a-E317-1~9] 9.2 Nanoparticles, Nanowires and Nanosheets

[20a-E317-7] Nano-Manipulation Technique for Single Nickel Oxide Nanoparticle Using Tungsten Nano Probes Fabricated by Chemical Vapor Phase Polishing Method

〇(M1)Yuya Isobe¹, Erika Ogura¹, Hiroshi Suga¹ (1.CIT)

Keywords:Nanoparticle, Needle, Scanning Electron Microscope

ナノ粒子の物性を計測する手法として，走査型電子顕微鏡観察下マニピュレーション法が注目されている．近年，マニピュレーション用の探針一本を数秒で作製できる化学気層研磨法が報告されたが，マニピュレーション応用は確認されていない．本研究ではSEM観察下マニピュレーション法で化学気層研磨法にて作製した探針を用いて単一酸化ニッケルナノ微粒子を電極に架橋し，化学気層研磨法で作製した探針の評価を行う．