[20a-N304-1~8] 【CS.3】 3.10 光量子物理・技術、3.11 フォトニック構造・現象、9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート、11.5 接合、回路作製プロセスおよびデジタル応用、13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイスのコードシェアセッション

[20a-N304-3] 放射光その場X線回折によるInGaN/GaN多重量子井戸ナノワイヤの構造評価

〇(M1)杉谷 寛弥¹、佐々木 拓生²、高橋 正光^1,2 (1.兵県大院物質理、2.量研)

キーワード：窒化物半導体ナノワイヤ、その場X線回折