[20a-PB4-1~10] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

[20a-PB4-5] Improvement of Measurement Accuracy of μ-Thermoelectric Generator characteristics

〇Kohei Mesaki¹, Hiroki Takezawa¹, Sakika Tanabe¹, Motohiro Tomita¹, Takeo Matsuki^1,2, Takanobu Watanabe¹ (1.Waseda Univ., 2.AIST)

Keywords:energy harvesting, semiconductor, thermoelectric generator

我々はこれまで、SOI基板の支持基板Siの厚みを薄くすることで、性能向上することを明らかにしてきた。すなわち、μTEGの性能は排熱効率に大きく依存し、排熱効率の変化が測定値揺らぎの大きな要因になる可能性が考えられる。今回、高熱伝導放熱シートを試料と試料ステージ間に挿入し、熱コンタクトを安定化することでμTEGの熱電性能評価の精度向上を試みた。