[20p-C310-1~16] 6.4 Thin films and New materials

△ [20p-C310-1] Thin film growth of perovskite oxynitride CaTaO₂N by Dynamic Aurora PLD

〇Futa Aoshima¹, Takahiko Kawaguchi¹, Naonori Sakamoto¹, Hisao Suzuki¹, Naoki Wakiya¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:oxynitride, Dynamic Aurora PLD, thin film

我々はこれまでに、成膜中に磁場印加が可能であるダイナミックオーロラPLD法を用いて、ペロブスカイト酸窒化物薄膜の作製に取り組んできた。本手法を用いることでSrTaO₂Nエピタキシャル薄膜の作製に成功し、強誘電性も確認された。今回、CaTaO₂NについてもダイナミックオーロラPLD法を用いて薄膜作製を行ったところ、強誘電特性の発現を確認したので報告する。