[20p-E202-1~17] 12.1 Fabrications and Structure Controls

△ [20p-E202-3] Effect of underlayer roughness on the grain size of PTCDI-C8 thin films

〇Shuhei Tanaka¹, Yusuke Takagawa¹, Shingo Maruyama¹, Yuji Matsumoto¹ (1.Tohoku Univ.)

Keywords:Organic semiconductor, Thin film, liquid crystal

有機半導体薄膜の電子デバイスへの応用において，結晶粒界はキャリアの移動度を低下させる要因のひとつであることから，グレインサイズを大きくすることは有効な戦略である．当研究室ではペリレン誘導体であるPTCDI-C8を熱酸化SiO₂/Si基板上に真空蒸着した薄膜において，比較的高い成膜温度で数百µmまで比較的平坦なグレインが成長する現象を見出した．そこで本研究では，このPTCDI-C8を巨大グレインに成長させるための下地層に求められる条件を調査した．