[20p-E202-1~17] 12.1 作製・構造制御

△ [20p-E202-6] イオン液体を用いた高蒸気圧原料の反応性真空蒸着

〇中山 仁美¹、谷口 快海¹、丸山 伸伍¹、松本 祐司¹ (1.東北大院工)

キーワード：イオン液体、金属有機構造体、真空

金属有機構造体の1つであるZIF-8の薄膜の真空蒸着法による作製を試みた。ZIF-8の原料の1つである2-メチルイミダゾールは蒸気圧が高いため，真空装置に入れることができない。そこで，高融点イオン液体中に2-メチルイミダゾールを封入しておくことで真空中に導入し，加熱赤外レーザのon/offによって適宜放出させる新しい蒸着手法を開発し，2-メチルイミダゾールと塩化亜鉛の同時蒸着を行うことで100℃に加熱したSi(100)基板上にZIF-8薄膜を作製した。