[20p-E202-1~17] 12.1 Fabrications and Structure Controls

△ [20p-E202-6] Reactive Vacuum Deposition of High Vapor Pressure Materials using Ionic Liquid

〇Hitomi Nakayama¹, Hayami Taniguchi¹, Shingo Maruyama¹, Yuji Matsumoto¹ (1.Tohoku Univ.)

Keywords:Ionic Liquid, Metal Organic Frameworks, Vacuum

金属有機構造体の1つであるZIF-8の薄膜の真空蒸着法による作製を試みた。ZIF-8の原料の1つである2-メチルイミダゾールは蒸気圧が高いため，真空装置に入れることができない。そこで，高融点イオン液体中に2-メチルイミダゾールを封入しておくことで真空中に導入し，加熱赤外レーザのon/offによって適宜放出させる新しい蒸着手法を開発し，2-メチルイミダゾールと塩化亜鉛の同時蒸着を行うことで100℃に加熱したSi(100)基板上にZIF-8薄膜を作製した。