[20p-E208-1~21] 3.12 Nanoscale optical science and near-field optics

[20p-E208-14] Titanium nitride nanowire arrays for hyperbolic metamaterials fabricated via dynamic oblique deposition

〇Kenichi Yatsugi¹, Kazutaka Nishikawa¹ (1.Toyota Central R&D Labs)

Keywords:Titanium Nitride, Hyperbolic Metamaterials, Nanowires

ハイパボリックメタマテリアル(HMM)は大きな光学異方性に起因するユニークな光学特性を持つことから注目を集めている．本研究では，動的斜め蒸着法を用いて作製したTi ナノワイヤアレイ(NWA)をアンモニア中で熱処理することで，TiN NWAからなるHMMを作製した．850 nm以上の波長範囲でε_⊥およびε_∥の符号はそれぞれ負および正であったことから，この波長範囲においてHMMであることが確認された．