[20p-E304-1~13] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[20p-E304-4] 反応性スパッタリングで成膜したNb，N添加TiO₂膜の局所構造

〇岡島 敏浩¹、賈 軍軍²、重里 有三³ (1.九州シンクロトロン、2.早大国際理工学セ、3.青学大理工)

キーワード：酸化チタン薄膜、局所構造

我々の最近の報告で、反応性スパッタ法によってNbやNドーピングがアナターゼ型のTiO₂薄膜が選択的に成長することを明らかにした。XAFS測定や第一原理計算により，このアナターゼ型のTiO₂ 薄膜にドープしたNbイオンの局所構造や結晶相の安定性を調べた．第一原理計算による結果は，TiO₂薄膜中のNbイオンの幾何学的配置は，SnイオンをドープしたTiO₂薄膜の場合と異なることを示した．