[20p-E311-1~17] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[20p-E311-2] C面窒化4H-SiC/SiO₂界面の電流検出型電子スピン共鳴分光

〇(M1)成ケ澤 雅人¹、比嘉 栄斗¹、染谷 満²、畠山 哲夫²、原田 信介²、梅田 享英¹ (1.筑波大学数物、2.産総研)

キーワード：炭化ケイ素、MOS界面欠陥、電子スピン共鳴分光

電流検出電子共鳴分光の結果から、C面窒化4H-SiC/SiO₂界面欠陥について議論する。