[20p-PA5-1~2] 3.10 光量子物理・技術

[20p-PA5-2] Si基板上に集積された空間型線形光回路の検討

〇(M1)石川 巧¹、菊地 涼¹、土師 康平¹、山田 博仁¹、松田 信幸¹ (1.東北大院工)

キーワード：量子回路、深掘りRIE、ユニタリ回路