[20p-PA7-1~8] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[20p-PA7-7] Gas molecules adsorption on the graphene resonator : First-principles and experimental studies

〇(M2)Hiroya Miyashita¹, Manoharan Muruganathan¹, Hiroshi Mizuta^1,2 (1.JAIST, 2.Hitachi Cambridge)

Keywords:graphene, resonator, First-principles simulation

本研究では，グラフェン共振器の質量検出の可能性を探求するため，ファンデルワールス相互作用を考慮した第一原理計算を用いて，グラフェンと水素分子およびアルゴン分子間の結合エネルギーがそれぞれ141 meV および287 meVであることを導いた．さらに同様のシミュレーションでそれぞれの電荷密度分布を解析したところ，グラフェンに対する水素およびアルゴン分子の結合がファンデルワールス力による物理吸着であることを明らかにした．