1:30 PM - 3:30 PM
[20p-PB2-1] Strain visualization techneque using LACBED and NBD
Keywords:Strain, LACBED, NBD
半導体デバイスの分野では,歪が「どこ」に「どのくらいの大きさ」で存在するかを知ることは,デバイスを作製するうえで非常に重要な情報である.
電子回折図形の一種であるLACBED(Large Angle Convergent Beam Electron Diffraction)を用いて大域的な歪を,NBD(Nano Beam electron Diffraction)を用いて局所的な歪を精度よく測定する手法を提案した.今回は市販の45nmノードのデバイスに本手法を適用したのでその効果について報告する.
電子回折図形の一種であるLACBED(Large Angle Convergent Beam Electron Diffraction)を用いて大域的な歪を,NBD(Nano Beam electron Diffraction)を用いて局所的な歪を精度よく測定する手法を提案した.今回は市販の45nmノードのデバイスに本手法を適用したのでその効果について報告する.