The 80th JSAP Autumn Meeting 2019

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Poster presentation

7 Beam Technology and Nanofabrication » 7 Beam Technology and Nanofabrication (Poster)

[20p-PB2-1~18] 7 Beam Technology and Nanofabrication (Poster)

Fri. Sep 20, 2019 1:30 PM - 3:30 PM PB2 (PB)

1:30 PM - 3:30 PM

[20p-PB2-1] Strain visualization techneque using LACBED and NBD

Fumihiko Uesugi1, Kouji Furukawa1, Chiaki Tanii2, Naoyuki Sugiyama1,2, Masaki Takeguchi1 (1.NIMS, 2.Toray research center, Inc)

Keywords:Strain, LACBED, NBD

半導体デバイスの分野では,歪が「どこ」に「どのくらいの大きさ」で存在するかを知ることは,デバイスを作製するうえで非常に重要な情報である.
電子回折図形の一種であるLACBED(Large Angle Convergent Beam Electron Diffraction)を用いて大域的な歪を,NBD(Nano Beam electron Diffraction)を用いて局所的な歪を精度よく測定する手法を提案した.今回は市販の45nmノードのデバイスに本手法を適用したのでその効果について報告する.