[20p-PB2-1~18] 7 Beam Technology and Nanofabrication (Poster)

[20p-PB2-16] Global Optimization Technique of Two-Glazing-Incidence-Mirror Objective for Soft-X-ray Focusing Applications (3)

〇(M1)Shota Yamashita¹, Jun Chen¹, Mitsunori Toyoda¹ (1.Tokyo Polytechnic Univ.)

Keywords:multilayer mirror, geometric optics, aberration theory

有限大きさを持つ物体の結像には、球面収差に加え、アッベの正弦条件を満足し、コマ収差を補正する必要がある。本講演では、これまでの我々の研究で見出した低収差設計解群が正弦条件をどの程度満足するかを計算した結果を報告する。