[20p-PB2-1~18] 7 Beam Technology and Nanofabrication (Poster)

[20p-PB2-2] Facetless carbon- coating electron source for increasing brightness of electron beam

〇Soichiro Matsunaga¹, Yasunara Sohda¹ (1.R&D group Hitachi Ltd.)

Keywords:electron source, facet, brightness

電子顕微鏡の性能向上には、大電流を微小光源から発する即ち輝度が高い電子源が求められている。光源の極小化により輝度を向上する方法が主流だが、電流量も減少する問題がある。我々は一つの解決方法として非晶質炭素による電子源のファセットレス化を目指している。ファセットレスにより輝度が向上することをシミュレーション検討し、実際に非晶質の材料で電子源先端を形成することでファセットレス化が可能なことを実証した。