2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[21a-C310-1~12] 6.4 薄膜新材料

2019年9月21日(土) 09:00 〜 12:15 C310 (C310)

西川 博昭(近畿大)

11:45 〜 12:00

[21a-C310-11] PLD を用いたZnMnGaO4 ナノチェッカーボード薄膜の作製

臼木 美弥1、堀出 朋哉1、堀部 陽一1、松本 要1 (1.九工大)

キーワード:薄膜、ナノ構造、相分離

現在ボトムアップ的アプローチであるナノ自己組織化に注目が集まっている。その新しい手法としてJahn-Teller現象により導入される局所歪を利用した手法がZnMnGaO4において報告されている。この手法では、数nm×数nm×数十~数百nm程度のナノCB組織を作製できる。薄膜でのナノCB構造の制御は、デバイス等への応用に向けた重要な課題であるため、本研究では、基板や成膜温度によってZnMnGaO4薄膜内でナノCB構造を制御を行った。